Two-wavelength Grating Interferometry for Extended Range MEMS Metrology

---

TOY M. F., FERHANOĞLU O., ÜREY H.

2007 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Hualian, Tayvan, 12 - 16 Ağustos 2007, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Doi Numarası: 10.1109/omems.2007.4373857
• Basıldığı Şehir: Hualian
• Basıldığı Ülke: Tayvan
• Anahtar Kelimeler: optical sensing, grating interferometry, MEMS metrology
• İstanbul Medipol Üniversitesi Adresli: Hayır