Bir fotolitografi yöntemi ve sistemi
Patent, BÖLÜM G Fizik, Buluşun Tescil No: TR2022/003354 , Standart Tescil, 2023, Tescil Edildi
- Fikri Mülkiyet: Patent
- Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Türkiye
- Buluşun Durumu: Tescil Edildi
- Başvuru Tarihi: 7.03.2022
- Tescil Tarihi: 28.09.2023
- Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: WIPO, PCT (Patent İşbirliği Antlaşması)
- Buluşun Durumu: Başvuru Yapıldı
- Başvuru Tarihi: 6.03.2023